دانلود تحقیق حکاکی تعداد 45صفحه آموزشی ویژه شما دانشجویان گرامی بصورت ورد قابل ویرایش با تخفیف ویژه از وبسایت قابل دانلود می باشد
نام فایل: دانلود تحقیق حکاکی
فرمت فایل :ورد
تعداد اسلاید ها: 45صفحه
قسمتی از فایل
دریافت
لایه نازک SiO2
معمولاً بوسیله
رقیق کردن یا Buffer کردن HF انجام می شود.
حکاکی های PSG 10 بار سریع تر
از اکسید رشد یافته حرارتی می باشد.
حکاکی Anisotropic حکاکی در مورد Si با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون در ترکیبی از C2 F6 و CH3F انجام می شود. قابلیت انتخاب روی Si خوب است، امّا
روی Si3N4 خوب نیست .
حکاکی لایه نازک Si3N4
حکاکی کننده تر در
دمای H3PO4,140 – 200OC می باشد. SiO2 حاصل از لایه نشانی بخار
شیمیایی یک ماسک حکاکی خوب است. قابلیت انتخاب روی Si خیلی خوب
است. حکاکی
Anisotropic
برای Si3N4 با استفاده از حکاکی پلاسما به کمک یون ( Ion assisted Plasma etching ) در ترکیبی از C2F6 و CH3F انجام می شود.
حکاکی قربانی ( sacrificial )
قابلیت انتخاب حکاکی sa
برچسب ها:
دانلود تحقیق حکاکی دانلود و خرید رایگان تحقیق در مورد حکاکی دانلود رایگان تحقیق پژوهشی با موضوع حکاکی خرید تحقیق با موضوع حکاکی